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| 超净高纯试剂氢氟酸除砷方法 |
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超净高纯试剂氢氟酸除砷方法
所得到的无水氟化氢含量可达到99.8％或更高。但常规的蒸馏方法不足以大幅度有效地降低无水 氟化氢中砷杂质的含量，因为砷杂质是以二二价的形式（Ａｓ３＋）作为三氟化砷（ＡｓＦ３） 存在的，它将与无水氟化氢共馏难以除去。因为氢氟酸在大规模集成电路中用于 清洗和腐蚀，砷杂质的存在对电子器件性能有严重影响，因此降低氢氟酸中砷含 量是氢氟酸提纯过程的主要问题。
通过泵８和热交换器９的作用，解 吸塔内压力控制在０．１ＭＰａ，温度控制在３０℃，由于温度的上升及压力的下降， 氟化氢从高浓度氢氟酸中以气相解吸。由于该温度控制在液态氟化氢的沸点以上 和氢氟酸的沸点以下，在该状态下不挥发的杂质被氢氟酸所吸收，所以解吸的氟 化氢气体具有极高的纯度。经过解吸的氢氟酸液体输入吸收塔２循环使用，在生 产过程中通过排料阀６定期排放杂质含量高的氢氟酸至废液槽２０，以及通过加料 阀５添加超纯水。此时已被净化的氟化氢进入产品吸收塔１１，通过加料阀１２加 入超纯水，在此形成超纯的氢氟酸。通过泵１３和热交换器１４的作用，吸收温度 控制在１０。Ｃ，压力控制在Ｏ．０５ＭＰａ，在氧氟酸含量达到要求后则通过排料阀１５ 输送到使用点或包装工段。
由于无水氟化氢的沸点为２０ ℃，所以通过电解法、硫化物沉淀法或瓴化还原法，都可降低砷离子的挥发性或 转变价态，再通过蒸馏或过滤的方法将砷杂质除去，将无水氟化氢与杂质分离。
本文由氢氟酸提供。 |
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