氟化钠(NaF)是一种很好的吸附剂，有着吸附氟化氢(HF)的特性， 在电子气体的生产中经常被用来吸附HF，在含氟电子气体的纯化工艺中有着极为重要的应用。
氟化钠在不同的吸附条件下吸附氟化氢杂质的吸附效果，对实验结果进行方差分析，并评价了各因 素对吸附效果的影响。实验表明:NaF对HF有很好的吸附能力，在最佳的操作条件下，吸附率达100%；适合的吸附 温度为20～80℃；吸附率随气体流量的增大而降低；压力对吸附率的影响不明显。
通过对不同的温度，压力和质量流量下NaF对HF的吸附率的对比，评价各因素对吸附效果的影响，确定最佳的吸附条件。
NaF吸附效率随温度，压力和气体质量流量的变化趋势:
1)关于显着性的结论:吸附温度对吸附效果的影响在l）0.O1 水平上显着，而吸附压力和流量在OL=0.25 水平上显着。
2)吸附温度在20℃时吸附效率最高，在低于100℃时温度对吸附影响不明显，最佳吸附温度应该在8O℃以下，具体应用时可根据被纯化气体的熔沸点来选择吸附效率较低，给结果带来了误差。
3)在0.15MPa，0.55MPa 的吸附压力下吸附效果。
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